Ống PTFE cho sản xuất chất bán dẫn

Sản xuất chất bán dẫn có ít khả năng chịu đựng các vật liệu không được kiểm soát. Ống được sử dụng trong băng ghế ướt, dây chuyền phân phối hóa chất hoặc hệ thống chất lỏng có độ tinh khiết cao không chỉ đơn thuần là cách để di chuyển chất lỏng từ A đến B. Bản thân ống phải duy trì ổn định khi tiếp xúc với hóa chất mạnh, nhiệt độ cao hoặc thấp, vệ sinh nhiều lần và yêu cầu độ tinh khiết cao.

Đối với WITFLON, ống bán dẫn có khả năng sản xuất fluoropolymer rộng hơn. Công ty hiện xác định chất bán dẫn trong số các lĩnh vực ứng dụng của mình và cung cấp các sản phẩm ống PTFE, FEP và PFA. Thông tin sản xuất được công bố bao gồm 45+ dây chuyền sản xuất ép đùn, cơ sở sản xuất rộng 10,000+ m2, 2.000 m2 không gian phòng sạch và thiết bị kiểm tra chuyên dụng. (Công ty TNHH Vật liệu mới Hồ Bắc Zetai)

1. Yêu cầu về quy trình bán dẫn

Dây chuyền chế tạo chất bán dẫn có thể khiến các bộ phận xử lý chất lỏng gặp phải:

Axit mạnh

Kiềm mạnh

Dung môi hữu cơ

Hóa chất oxy hóa

Nước siêu tinh khiết

Hóa chất quang điện

Chất tẩy rửa

Khí ăn mòn

Hóa chất xử lý có độ tinh khiết cao

Do đó, ống phải đáp ứng một số yêu cầu cùng một lúc:

Khả năng tương thích hóa học

Ống phải duy trì độ ổn định vật lý và hóa học khi tiếp xúc liên tục với môi trường xử lý.

độ tinh khiết

Ống không được trở thành nguồn đáng kể của các hạt, chất có thể chiết xuất hoặc ô nhiễm không mong muốn.

Chịu nhiệt độ

Một số quy trình liên quan đến nhiệt độ cao, trong khi các hệ thống khác hoạt động trong điều kiện nhiệt độ thấp hoặc nhiệt độ được kiểm soát.

Ổn định kích thước

ID và OD cần duy trì đủ ổn định để kết nối, kiểm soát luồng và tích hợp thiết bị.

Chất lượng bề mặt

Bề mặt bên trong nhẵn giúp giảm thiểu các vị trí có thể tích tụ cặn hoặc chất gây ô nhiễm trong quá trình xử lý.

Sản xuất sạch

Đối với các ứng dụng có độ tinh khiết cao, điều kiện sản xuất và đóng gói trở thành một phần của thông số kỹ thuật vật liệu.

Đây là lý do tại sao khách hàng bán dẫn nên chỉ định yêu cầu về chất lỏng + nồng độ + nhiệt độ + áp suất + độ tinh khiết, thay vì chỉ yêu cầu "ống kháng hóa chất".

2. Khả năng tương thích hóa học

PTFE được lựa chọn rộng rãi cho các ứng dụng chuyển hóa chất bán dẫn vì khả năng kháng hóa chất rộng.

WITFLON mô tả PTFE có khả năng chống lại axit mạnh, kiềm mạnh, dung môi và môi trường ăn mòn, đồng thời trang web của nó liệt kê cụ thể việc chuyển thuốc thử có độ tinh khiết cao trong ngành công nghiệp bán dẫn và dược phẩm như một ứng dụng cho ống mao dẫn PTFE. (Công ty TNHH Vật liệu mới Hồ Bắc Zetai)

Hóa chất bán dẫn điển hình có thể bao gồm:

Tuy nhiên, không nên hiểu "PTFE có khả năng kháng hóa chất" vì mọi ống PTFE đều phù hợp với mọi hóa chất trong mọi điều kiện.

Đối với quy trình bán dẫn thực tế, WITFLON nên đánh giá:

Hóa chất → Nồng độ → Nhiệt độ → Áp suất → Thời gian phơi sáng → Cấp ống → Tuổi thọ yêu cầu

Thông tin đó mang lại cho đội ngũ kỹ thuật cơ sở hữu ích hơn nhiều cho việc lựa chọn vật liệu.

3. Yêu cầu về độ tinh khiết cao

Tại sao độ tinh khiết lại quan trọng trong hệ thống chất lỏng bán dẫn

Trong sản xuất chất bán dẫn, ô nhiễm có thể ảnh hưởng đến năng suất tấm bán dẫn, độ ổn định của quy trình và bảo trì thiết bị.

Ống có thể gây ô nhiễm thông qua:

hạt

Vật liệu chế biến dư thừa

Có thể trích xuất

Vệ sinh không đầy đủ

Xử lý không đúng cách

Bao bì bị ô nhiễm

Điều này làm cho việc lựa chọn nguyên liệu và môi trường sản xuất được kết nối chặt chẽ.

Trang web của WITFLON xác định sản xuất phòng sạch là một phần khả năng sản xuất của mình và liệt kê các ứng dụng bán dẫn cho ống fluoropolymer của mình. (Công ty TNHH Vật liệu mới Hồ Bắc Zetai)

Để mua ống có độ tinh khiết cao, người mua không chỉ nên yêu cầu tên vật liệu.

Một thông số kỹ thuật hữu ích có thể bao gồm:

Lớp nhựa

Vật liệu ống

ID / OD

Độ dày của tường

Tình trạng bề mặt

Yêu cầu làm sạch

Yêu cầu hạt

Yêu cầu đóng gói

Truy xuất nguồn gốc

Chứng chỉ bắt buộc

chất lỏng ứng dụng

4. Lựa chọn PTFE / PFA / FEP

PTFE, PFA và FEP đều là các chất fluoropolyme, nhưng chúng không được coi là vật liệu có thể thay thế cho nhau.

Danh mục sản phẩm của WITFLON bao gồm ống PTFE, FEP và PFA, cho phép khách hàng lựa chọn vật liệu theo yêu cầu ứng dụng. (Công ty TNHH Vật liệu mới Hồ Bắc Zetai)

PTFE

PTFE là sự lựa chọn mạnh mẽ khi ưu tiên là:

Kháng hóa chất rộng

Chịu nhiệt độ cao

Ma sát thấp

Cách điện

Xử lý chất lỏng ăn mòn chung

Thông số kỹ thuật ống PTFE của WITFLON bao gồm các ứng dụng liên quan đến dung môi, axit, kiềm và khí ăn mòn. (Công ty TNHH Vật liệu mới Hồ Bắc Zetai)

PFA

PFA trở nên hấp dẫn khi ứng dụng bán dẫn chú trọng hơn vào:

Chuyển hóa chất có độ tinh khiết cao

Kháng hóa chất

Minh bạch

Khả năng hiển thị chất lỏng quá trình

Ứng dụng ống fluoropolymer liên tục

Để cung cấp hóa chất có độ tinh khiết cao, PFA thường được xem xét khi hệ thống yêu cầu sự kết hợp giữa khả năng kháng hóa chất và cấu trúc ống sạch, hướng tới quy trình.

FEP

FEP cung cấp:

Kháng hóa chất

Minh bạch

Tính linh hoạt

Cách điện

Chịu nhiệt độ tốt

Thông tin sản phẩm FEP của WITFLON liệt kê các ứng dụng chất lỏng công nghiệp và chuyển hóa chất, đồng thời đưa ra phạm vi nhiệt độ được công bố khoảng -196 độ đến 260 độ cho thông số kỹ thuật ống FEP của nó. (Công ty TNHH Vật liệu mới Hồ Bắc Zetai)

Lựa chọn vật liệu thực tế

Vật liệu cuối cùng phải được lựa chọn dựa trên các điều kiện xử lý và hóa học thực tế, không chỉ từ sự so sánh chung này.

5. Thông số kỹ thuật của ống

RFQ của ống bán dẫn phải chi tiết hơn đơn đặt hàng ống công nghiệp tiêu chuẩn.

Thông số kích thước

Chỉ định:

NHẬN DẠNG

OD

Độ dày của tường

Chiều dài

Sức chịu đựng

Độ đồng tâm

Đối với các ứng dụng mao quản và vi chất lỏng, dung sai ID có thể trở thành thông số kiểm soát dòng chảy quan trọng.

Dòng sản phẩm ống mao dẫn PTFE của WITFLON bao gồm các sản phẩm có đường kính nhỏ như 1 mm ID × 2 mm OD, với chiều dài ống tùy chỉnh có sẵn. (Công ty TNHH Vật liệu mới Hồ Bắc Zetai)

Áp lực

Chỉ định:

Áp suất làm việc

Áp suất tối đa

Áp lực bùng nổ nếu cần thiết

Nhiệt độ ở áp suất làm việc

Hiệu suất áp suất phụ thuộc nhiều vào OD, độ dày thành, nhiệt độ và kết cấu ống.

Bề mặt

Đối với các ứng dụng bán dẫn, hãy xác định xem yêu cầu có phải là:

lỗ khoan trơn tru

Bề mặt ít hạt

Bề mặt có độ tinh khiết cao

Vệ sinh đặc biệt

Bao bì đặc biệt

Chiều dài

Tùy thuộc vào việc cài đặt, khách hàng có thể yêu cầu:

Chiều dài cắt thẳng

Cuộn dây liên tục

Ống cuốn

Độ dài cắt tùy chỉnh

WITFLON liệt kê các độ dài tùy chỉnh cho các sản phẩm ống PTFE của mình. (Công ty TNHH Vật liệu mới Hồ Bắc Zetai)

6. Kiểm soát ô nhiễm

Giữ cho ống không trở thành một phần của vấn đề ô nhiễm

Ống kháng hóa chất không tự động là ống có độ tinh khiết cao.

Đối với hệ thống bán dẫn, việc kiểm soát ô nhiễm phải bao gồm toàn bộ chuỗi:

Nguyên liệu thô
↓
Phun ra
↓
Điều tra
↓
Làm sạch / Xử lý
↓
Bao bì
↓
Lô hàng

Các nguồn ô nhiễm tiềm ẩn bao gồm:

Nguyên liệu thô

Nhựa không chính xác hoặc không nhất quán có thể ảnh hưởng đến đặc tính của sản phẩm.

Sản xuất

Tình trạng thiết bị, môi trường xung quanh và cách xử lý của người vận hành có thể đưa các hạt lạ vào.

Cắt

Máy cắt không đúng cách của cơ sở sản xuất và 2.000 m2 không gian phòng sạch. Công ty cũng liệt kê thêm các hạt rời hoặc các cạnh thô.

Xử lý

Ống có thể bị nhiễm bẩn sau khi sản xuất nếu tiếp xúc với môi trường không được kiểm soát.

Bao bì

Ngay cả một ống sạch cũng có thể bị ảnh hưởng do vật liệu đóng gói không phù hợp hoặc do xử lý kém.

Đây là lý do tại sao nên mua ống có độ tinh khiết cao như một sản phẩm được kiểm soát chứ không chỉ đơn giản là ống polyme kháng hóa chất.

7. Môi trường sản xuất

WITFLON báo cáo có 10,000+ mét vuông cơ sở sản xuất và 2.000 mét vuông không gian phòng sạch. Công ty cũng liệt kê hơn 45 dây chuyền sản xuất ép đùn và thiết bị kiểm tra chuyên dụng. (Công ty TNHH Vật liệu mới Hồ Bắc Zetai)

Đối với ống bán dẫn, môi trường sản xuất cần được xem xét cùng với thông số kỹ thuật của sản phẩm.

Các yếu tố quan trọng bao gồm:

Khu vực sản xuất sạch sẽ

Lưu trữ vật liệu

Vệ sinh thiết bị

Xử lý có kiểm soát

Kiểm tra trong quá trình

Kiểm tra thành phẩm

Môi trường đóng gói

Nhận dạng lô

Lịch sử công ty của WITFLON ghi lại rằng họ đã thành lập một xưởng không bụi vào năm 2021 khi mở rộng trọng tâm vào ống PTFE y tế. (Công ty TNHH Vật liệu mới Hồ Bắc Zetai)

Đối với khách hàng bán dẫn, nhà cung cấp phải nêu rõ sản phẩm ống nào được sản xuất trong môi trường được kiểm soát thay vì đưa ra tuyên bố chung về phòng sạch trên mỗi sản phẩm.

8. Kiểm tra chất lượng

Ống bán dẫn cần kiểm soát kích thước cũng như kiểm soát vật liệu và bề mặt.

Kiểm tra vật liệu đến

Kiểm tra:

Nhận dạng nhựa

Lớp vật liệu

nhà cung cấp

Số lô

Tài liệu vật liệu

Kiểm tra kích thước

Kiểm tra:

NHẬN DẠNG

OD

Độ dày của tường

Chiều dài

Độ đồng tâm

Kiểm tra bề mặt

Hãy tìm:

Vết xước

Vật lạ

bong bóng

vết nứt

Bề mặt không đều

Kiểm tra hiệu suất

Tùy thuộc vào ứng dụng:

Kiểm tra áp suất

Kiểm tra nhiệt độ

Thử nghiệm tương thích hóa học

Kiểm tra điện

Độ ổn định kích thước

Kiểm tra rò rỉ

WITFLON tuyên bố rằng họ có thiết bị thử nghiệm tiên tiến và hơn 45 dây chuyền sản xuất ép đùn. Thông tin sản phẩm của nó cũng xác định các biện pháp kiểm soát chất lượng liên quan đến kích thước và vật liệu trên phạm vi ống của nó. (Công ty TNHH Vật liệu mới Hồ Bắc Zetai)

9. Ứng dụng

Giao hàng hóa chất

Ống PTFE, PFA và FEP có thể được sử dụng để vận chuyển các hóa chất xử lý mạnh từ hệ thống cung cấp hóa chất đến thiết bị xử lý chất bán dẫn.

Những cân nhắc điển hình:

Khả năng tương thích hóa học + Độ tinh khiết + Áp suất + Nhiệt độ

Quy trình ướt

Băng ghế ướt sử dụng các giải pháp hóa học để xử lý wafer, làm sạch và xử lý bề mặt.

Yêu cầu về đường ống có thể bao gồm:

Kháng hóa chất

Ô nhiễm thấp

Kích thước được kiểm soát

Xử lý sạch sẽ

Kết nối đáng tin cậy

UPW - Nước Siêu Tinh Khiết

Hệ thống UPW yêu cầu đường ống không ảnh hưởng đến độ sạch của nước.

Những mối quan tâm điển hình bao gồm:

Tạo hạt

Có thể trích xuất

Tình trạng bề mặt

Sản xuất sạch

Bao bì

Độ ổn định hóa học lâu dài

Vật liệu ống phải được lựa chọn dựa trên thông số kỹ thuật hoàn chỉnh của hệ thống UPW.

Khí đặc biệt

Ống Fluoropolymer cũng có thể được sử dụng trong các thiết bị bán dẫn liên quan đến khí.

Thiết kế cần xem xét:

Khả năng tương thích khí

Thẩm thấu

Áp lực

Nhiệt độ

Hệ thống kết nối

Sự rò rỉ

Đối với các loại khí đặc biệt, việc lựa chọn vật liệu phải được thực hiện theo loại khí cụ thể và các điều kiện vận hành thay vì giả định rằng tất cả các chất fluoropolyme đều hoạt động giống hệt nhau.

khắc

Hệ thống khắc làm cho các bộ phận xử lý chất lỏng tiếp xúc với các hóa chất mạnh.

Ống phải duy trì:

Tính ổn định hóa học

Tính toàn vẹn chiều

Tình trạng bề mặt

Độ tin cậy kết nối

Khả năng kháng hóa chất rộng của PTFE khiến nó trở thành vật liệu ứng cử viên cho các hệ thống này. WITFLON mô tả cụ thể PTFE là thích hợp cho việc truyền chất lỏng ăn mòn. (Công ty TNHH Vật liệu mới Hồ Bắc Zetai)

Vệ sinh

Làm sạch wafer có thể bao gồm sự kết hợp của:

Nước

Axit

chất kiềm

dung môi

Chất oxy hóa

Ống phải được lựa chọn theo hóa chất làm sạch thực tế, nhiệt độ và áp suất.

Chất quang dẫn

Việc xử lý chất cản quang nhạy hơn so với việc chuyển hóa chất thông thường vì sự nhiễm bẩn có thể ảnh hưởng trực tiếp đến hiệu suất của quy trình.

Do đó, việc lựa chọn ống nên xem xét:

Khả năng tương thích hóa học

độ tinh khiết

Có thể trích xuất

Tình trạng bề mặt

Quy trình vệ sinh

Bao bì

Đối với các ứng dụng này, người mua nên cung cấp các điều kiện xử lý và hóa học quang điện cho nhà sản xuất ống.

10. Lựa chọn ống bán dẫn theo ứng dụng

Bảng này nhằm mục đích làm điểm khởi đầu cho việc sàng lọc vật liệu, không thay thế cho việc kiểm tra khả năng tương thích hóa học.

11. Tại sao dùng WITFLON cho ống bán dẫn?

Đối với khách hàng bán dẫn, tiêu chí hữu ích của nhà cung cấp không bị giới hạn ở giá cả và kích thước ống danh nghĩa.

Chuyên môn về Fluoropolymer

Công ty tuyên bố rằng họ có 15+ năm kinh nghiệm với các sản phẩm ống PTFE, FEP và PFA và fluoropolymer. (Công ty TNHH Vật liệu mới Hồ Bắc Zetai)

Năng lực sản xuất

Công ty báo cáo:

45+ dây chuyền sản xuất đùn

Cơ sở sản xuất 10,000+ m2

Phòng sạch 2.000 m2

Thiết bị kiểm tra tiên tiến

(Công ty TNHH Vật liệu mới Hồ Bắc Zetai)

Tùy chỉnh

WITFLON hỗ trợ sản xuất OEM cho cả thử nghiệm lô nhỏ và sản xuất số lượng lớn hơn, đồng thời tuyên bố rằng ống có thể được sản xuất theo mẫu hoặc bản vẽ kỹ thuật. (Công ty TNHH Vật liệu mới Hồ Bắc Zetai)

Nhiều Fluoropolyme

Thay vì giới hạn khách hàng sử dụng PTFE, phạm vi sản phẩm của WITFLON bao gồm:

PTFE + PFA + FEP

Điều này cho phép vật liệu được lựa chọn theo quy trình bán dẫn thực tế. (Công ty TNHH Vật liệu mới Hồ Bắc Zetai)

12. RFQ ống bán dẫn

RFQ ống bán dẫn phải cung cấp đủ thông tin quy trình để nhà sản xuất đánh giá cả vật liệu và hình học.

Thông tin sản phẩm

ống PTFE

ống PFA

ống FEP

Ống mao dẫn

Ống tùy chỉnh

Kích thước

NHẬN DẠNG

OD

Độ dày của tường

Chiều dài

Sức chịu đựng

Độ đồng tâm

Thông tin quy trình

Hóa chất

Nồng độ hóa học

Nhiệt độ

Áp lực

Tốc độ dòng chảy

Thời gian phơi nhiễm

Sử dụng liên tục/không liên tục

Yêu cầu về độ tinh khiết

Yêu cầu độ tinh khiết cao

Yêu cầu làm sạch

Yêu cầu đóng gói

Yêu cầu truy xuất nguồn gốc

Ứng dụng

Giao hóa chất

Quá trình ướt

UPW

khắc

Vệ sinh

Chất quang dẫn

Khí đặc biệt

Ưu tiên vật liệu

PTFE

PFA

FEP

Không có ưu tiên - nhà cung cấp để giới thiệu

Quy trình lựa chọn ống bán dẫn PTFE

Đối với WITFLON, quy trình lựa chọn ống bán dẫn hữu ích về mặt kỹ thuật có thể được trình bày dưới dạng:

Quy trình bán dẫn
↓
Nhận dạng hóa chất / khí
↓
Nhiệt độ + Áp suất
↓
Yêu cầu về độ tinh khiết
↓
Lựa chọn PTFE / PFA / FEP
↓
ID / OD / Độ dày của tường
↓
Yêu cầu về bề mặt và độ sạch
↓
Môi trường sản xuất
↓
Kiểm tra kích thước và hiệu suất
↓
Bao bì sạch
↓
Lô hàng

Cấu trúc này đặc biệt hữu ích cho các kỹ sư và nhóm mua hàng vì nó bắt đầu từ yêu cầu của quy trình, thay vì buộc khách hàng phải chọn ống trước khi tìm hiểu vật liệu.

RFQ: Cho WITFLON biết ống phải xử lý những gì

Đối với ngành sản xuất chất bán dẫn, thông điệp đầu tiên hữu ích nhất không chỉ đơn giản là:

"Xin báo giá ống PTFE."

Thay vào đó, hãy cung cấp:

Chất lỏng / Hóa chất + Nồng độ + Nhiệt độ + Áp suất + ID + OD + Độ dày thành + Chiều dài + Yêu cầu về độ tinh khiết + Ứng dụng

Sau đó, WITFLON có thể đánh giá xem PTFE, PFA hay FEP là nguyên liệu ban đầu tốt hơn và xác định xem sản phẩm tiêu chuẩn hay sản phẩm ép đùn tùy chỉnh có phù hợp hay không. Trang web hiện tại của họ liệt kê cụ thể các ứng dụng bán dẫn cho ống fluoropolymer và xác định PTFE, FEP và PFA trong số các khả năng của sản phẩm. (Công ty TNHH Vật liệu mới Hồ Bắc Zetai)